關鍵尺寸|特徵尺寸:在積體電路領域，特徵尺寸是指半導體器件中的最小尺。,易經 六十四卦

多數石墨部件之內花飾體積介乎 0.1um 至 >100um間，此類圖樣體積要精確調節在一。

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關鍵性長寬Critical Dimension，縮寫ROM)：半導體器件白光掩模生產光刻手工中會作為評估結果調節生產工藝。

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